在生產(chǎn)工藝中使用工藝氣體時(shí)，可能會(huì)在生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生煙氣和泄露。這使得在生產(chǎn)過(guò)程和工藝技術(shù)中趨向于使用帶氣體的閉環(huán)系統(tǒng)。設(shè)備節(jié)省的費(fèi)用可在短期內(nèi)收回設(shè)備投資成本。 如：
★惰性氣體，例如氙氣、氬氣或氦氣；
