Bpure Series 立式/臥式管舟清洗機

Bpure Series Vertical/Horizo ntal Tube/Boat Cleaning System

Bpure系列立式/臥式管舟清洗機廣泛應用于集成電路、封裝、光伏等領域。采用浸泡式處理工藝，主要用于12英寸及以下尺寸的擴散、外延等設備的石英管/舟、碳化硅管的清洗。此外，也可以用于清洗其它石英材質的零部件，如石英板、點火炮、保溫桶等。

設備特點

• 全自動清洗，浸泡式清洗與噴淋式清洗工藝可選
• 一機多用，可兼容石英管/舟/工件清洗
• 自主研發(fā)控制系統(tǒng)，友好的人機交互界面
• 自動配液系統(tǒng)，換酸便捷
• 分級安全互鎖設置，確保設備安全可靠

產(chǎn)品應用

• 晶圓尺寸

  8、12 英寸

• 適用材料

  石英、碳化硅

• 適用工藝

  石英管/ 舟、石英板、點火炮、基座等零部件浸泡式清洗

• 適用領域

  集成電路、功率半導體、化合物半導體、科研領域